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Caracterización Química y Estructural. Basado en un espectrómetro de masas de iones secundarios (SIMS). Marca CAMECA, modelo LMS6F Realiza erosiones y su principio se basa en el bombardeo con iones para producir iones secundarios que se miden con un sector magnético. Se usa en la caracterización de materiales semiconductores, películas delgadas, celdas solares y materiales de última generación. Cuenta con dos fuentes, cesio y oxígeno, las que se utilizan de acuerdo al material a bombardear para reducir los efecto de acumulación de carga en las muestras bajo análisis.
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